3.1 传感器是人形机器人感知系统的核心部件

人形机器人传感器检测对象不同分为内部传感器和外部传感器。内部传感器：用来感知机器人的 自身状态的传感器，比如位置、速度、加速度。外部传感器：用以感受机器人周围环境、目标物 的状态信息的传感器，比如视觉、触觉、听觉、嗅觉、温度、力觉等。

人形机器人需要用到多种传感器，包括力矩传感器，拉压力传感器、编码器、温度传感器、六维 力传感器和惯导传感器等。其中，惯导传感器（IMU）是实现人形机器人姿态控制的核心，六维 力传感器是力控、摆动稳定控制的核心，可精准测量随机变化的力。

3.2 特斯拉 Optimus Gen2，为何选择“捏鸡蛋”？ 

2023 年 12 月 12 日，特斯拉发布了第二代人形机器人擎天柱 Optimus Gen2。演示视频中，机器人用手指捏起鸡蛋的能力受到广泛关注：机器人用左手的拇指和食指把鸡蛋从纸浆蛋托里拿起来， 再用右手的食指和拇指捏住，将鸡蛋稳稳地放到锅里。这个看似简单而日常的动作，背后需要动 用的技术却一点也不简单。

有那么多物品可以展示，特斯拉为什么偏偏选择了鸡蛋？根据中国电子报的报道，他们推测之所 以做这样的选择，是因为鸡蛋易碎的特点：力气小了会滑落，力气大了会捏破。显然，鸡蛋这种 重量轻、质地薄且易碎、表面平滑且易落的物品，对机器人感知系统的识别能力和抓取动作精细 度提出了更高的要求。可能这也是特斯拉希望借助视频传达出来一条信息：二代擎天柱连抓握鸡 蛋的功能都能实现，那么也能轻松完成日常生活所涉及的其他动作手部。

机械手捏鸡蛋，背后需要什么样的技术支撑？完成抓取的动作，首先要具备感知能力。关于机器 人指尖的感知方式，有如下几种：

其一是压力感知。相较于工业机器人，人形机器人手部的受力方向更复杂。因此，有业界人 士认为，手部的力量感知应该用六维力传感器实现。根据中国电子报的报道，坤维科技 CTO 袁明论介绍称：“如果力的方向是固定的，可以采用一维力传感器；如果力作用点与 传感器标定参考点重合，但力的方向随机变化，可以用三维力传感器；而如果力的方向和作 用点都在三维空间里随机变化，就应该选用六维力传感器进行测量。”人形机器人的手部抓 握力的测量，就属于这第三种情况。且不仅要求测量的方位更多，也要求其测量精度更准， 需要控制在 mN（毫牛）级。

其二是触力感知。根据中国电子报的报道，霍尼韦尔技术支持工程师王海军介绍了以触力传 感器探测机器人指尖力大小的解决方案。他表示，霍尼韦尔可以检测触碰到的地方的力的大 小。触力传感器和压力传感器的工作原理比较类似，区别在于，触力计算出来是力的大小， 压力传感检测出来的是压强。例如汽车刹车系统是通过液压的方式感知，如果需要，再通过 计算转化为力的大小。王海军表示，触力传感器的适应的量程数值较小，一般在 25N以下， 精度可达到 1%左右，因此能够适应人形机器人用机械手抓取精细物品的需求。该技术现已 在医疗手术机器人等领域实现应用。

其三是柔性微压力感知。与压力感知类似，柔性微压力传感器同样感知的是传感器表面受到 的压力。而区别在于，柔性传感器采用更轻薄的薄膜材料，可更灵活地配置在机器人表面， 并实现对来自不同方向的压力的感知。根据中国电子报的报道，汉威传感器研究院副院长刘 建钢曾表示，柔性微压力传感器也能够实现阵列功能，也就是说，能够实现特斯拉二代机器 人在视频中展示的——呈现机器人指尖不同位置感受到的不同压力值的功能。

3.3 六维力/力矩传感器

力传感器是测量物体因受力变形而产生的应变传感器，将力信号转变为电信号输出的电子元件， 可以检测张力、压力、重量、扭矩、应变和内应力等机械量。按照测量维度，力觉传感器可以分 为一至六维力传感器。一般传感器能测几个维度，它就是几维力传感器。一维、三维和六维力传 感器最常见，二维和五维的力传感器较少见。六维力传感器也是维度最高的力觉传感器，它能给 出最为全面的力觉信息，因此六维力传感器的技术难度和使用难度都相对较大。六维力传感器也称为六维力矩传感器、F/T 传感器，用于精确测量 X、Y、Z 三个方向的力信息和 Fx、Fy、FZ 三个维度的力矩信息。六维力传感器的内部算法，会解耦各方向力和力矩间的干扰， 使力的测量更为精准；这类传感器更适用于参考点的距离较远，且随机变化情景，测量精度要求 较高；目前，六维力传感器主要用于检测、预防、控制、示教、测量、保护等场景，通常安装在 机器人的底座或者末端，可以提供应用过程中的力交互信息，对于下游客户而言，有效且可靠的 数据至关重要；随着智能制造和机器人产业的发展，力觉传感器逐渐上升到国家战略发展层面， 六维力传感器作为新型传感器被列入到机器人关键基础提升行动中。

根据传感元件的不同，六维力/力矩传感器主要分为: 应变片式、光学式以及压电/电容式；目前， 市场应用的六维力/力矩传感器大部分是基于应变式的测量。基于压电、电容和光学等原理测量的 传感器有一定的理论研究和实验，下游尚未得到广泛应用。随着相关研究的不断深入，不同测量 机理的传感器将会发挥自身优势被应用到各种场合，进而推动六维力传感器向多元化方向发展。

多维力传感器准度衡量的是测量结果与理论真值的偏离程度，准度其实涵盖了滞后、线性、蠕变 等误差因素，更能体现产品的综合性能，是多维力传感器最为核心的技术指标之一。其获得的方 法是，对传感器进行多组多维联合加载，计算得到的传感器测量值与所加载荷理论真值之间的标 准偏差，并除以量程。

工信部发布《人形机器人揭榜挂帅任务榜单》对力传感器提出新的要求。揭榜任务：面向人形机 器人准确获取驱动关节和肢体末端触感力学信号的需求，突破稳定可靠的力传感器结构设计与制 造、智能化信号处理与分析、多信息智能识别与模型分析等关键技术，研制系列化、高性能、低 成本、智能化的新型力传感器，发展低成本、规模化的传感器生产制造方法，推动新型力传感器 在人形机器人上的产业化应用。预期目标:到 2025 年，完成人形机器人系列化力传感器的设计与 制造，满足驱动关节、手指、足底等肢体末端力测量需要，并在人形机器人上开展实际应用。传 感器采用低成本、高性能的设计，精度达到 0.5%FS，响应时间优于 0.035，具有智能信息采集与 处理能力，提升力传感器的智能化水平。标定是指，通过加载理论值的载荷并同时记录传感器输出的对应原始信号的方式，获得六维力传 感器内部算法的各个参数。也就是建立传感器原始信号和受力之间的映射关系。检测是指，通过加载已知理论真值的载荷并同时记录传感器测量结果的方式，统计、比较测量结 果和理论真值的差异，获得传感器的精度和准度，也就是测试传感器准不准。对坐标轴以外的黄色的交叉样本点进行的加载，就叫做联合加载。在六维力传感器标定过程中， 采用三个方向的力和三个方向的力矩同时加载的方式，就叫做六维联合加载标定。六维联合加载 标定的样本空间的复杂程度我们已经无法通过图形来表示了，但可以用数字来说明。一维力传感 器，比如拉压力传感器，仅仅只需要 9 个样本点来标定。同样是每个维度取 9 个样本点，六维力 传感器的样本空间就包含 531441 个样本点。

使用这么多样本点进行六维联合加载标定会带来三点优势：1. 首先，交叉样本点可以使传感器的受力情况模拟得非常接近真实的使用情况。2. 其次就是这样标定便于考察传感器在多维载荷同时作用下的非线性力学特性，可以有效改善 传感器结构的设计。3. 最后，这样是基于传感器的非线性力学特性做的标定，可以大幅优化解耦算法的数学模型。总之，采用六维力联合加载标定，才能使传感器的准度更好、串扰更低。六维力传感器在承受多 个维度的力的同时作用时，非线性特性非常显著，六个维度的线性模型叠加是无法精准描述这种 非线性效应的。六维力传感器标定检测设备可以对力觉传感器实现正交三个方向力和三个方向力矩的同时精确加 载。只有在传感器标定和检测过程中采用这种六维联合加载的方式，才能实现 0.5%FS 准度。也 就是说六维联合加载设备是高精度六维力传感器研发和生产的必要条件。六维联合加载设备目前 还没有标准产品可以直接采购，一般都是由六维力传感器的厂商自行研制的，所以如美国和德国 的六维联合加载设备的形态差别非常大。六维联合加载设备的研发涉及到空间光学定位、载荷位 移补偿、机电一体化等多项综合技术，有上百个 Know How，非常依赖工程经验。一旦某个细节 考虑不周全，加载效果就会不理想，加载设备自己产生的耦合误差可能超过 1%FS，这势必无法 标定出高准度的六维力传感器。

受益于机器人市场需求催化，中国六维力(矩)传感器市场近年来入局者逐年增加，但受限于该领 域的高技术壁垒，真正具备批量化产品供应能力的厂商依然偏少；根据 2022 年国内市场销量口 径看 ATI、宇立仪器、坤维科技、鑫精诚位于第一梯队，各家厂商下游应用的侧重有所差异。ATI 作为全球龙头，经过多年的积累，应用面相对更广;宇立在工业机器人磨抛行业和汽车碰撞测试行 业应用更多;坤维科技在协作机器人、医疗手术机器人、医疗检测机器人和康复机器人领域具备明 显优势，同时其产品在航空航天领域具备行业核心竞争力；鑫精诚凭借苹果供应商的身份已将其 产品推入到 3C 行业，同时在机器人行业和医疗行业也有布局。

六维力/力矩传感器有望进入高速成长期，GGII 数据显示，2022 年中国市场六维力/力矩传感器销 量 8360 套，同比增长 57.97%，其中机器人行业销量 4840 套，同比增长 62.58%。GGII 预计， 到 2027 年中国市场六维力/力矩传感器销量有望突破 84000 套，2023-2027 年复合增长率超过 60%，其中机器人行业销量有望突破 42000 套；2022 年中国六维力/力矩传感器市场规模 2.39 亿 元，同比增长52.04%，其中机器人行业六维力/力传感器市场规模1.56亿元，同比增长54.35%。GGII 预计，2027 年中国六维力/力矩传感器市场规模将超过 15 亿元，按照 2022 年机器人行业占 比推算，预计 2027 年中国机器人行业六维力/力传感器市场规模将达到 9.79 亿元。目前，六维力 和力矩传感器市场基数依然偏小，尚未形成明显规模效应。随着入局者的持续增加，叠加下游细 分市场认知的逐年提升以及应用领域的拓展，六维力/力矩传感器的增长空间仍在拓宽，期间将伴 随多技术路线产品矩阵的完善、产品价格的下降以及国产化率的提升。

人形机器人持续推进，六维力传感器将迎来发展机遇。2022 年，ChatGPT 的横空出世，具身智 能再次被提起，为机器人的发展带来新的想象空间。具身智能使得人工智能具备环境的感知交互 能力，届时人形机器人将成为具身智能算法的重要载体。2023 年，特斯拉新款 Optimus 人形机器 人完成了电机扭矩控制，力度控制更精确、环境探测与记忆等复杂任务，在力控方面表现得更加 灵敏。未来，人形机器人将通过配备(A1、视觉、力觉等)传感器，呈现出多信息融合(触觉、力觉 和视觉等)的力控实现形式，将为六维力传感器在人形机器人领域的应用带来巨大的发展空间。

六维力/力矩传感器在人形机器人领域的应用场景

3.4 柔性触觉传感器/电子皮肤

触觉传感器是实现机器人智能感知和人机交互的核心器件。触觉传感器将触觉刺激转换为电信号 送入机器人控制器，为机器人感知外界环境提供丰富的信息，如物体尺寸、形状、纹理、刚度、 温度等特性，还能提供与他人的力触觉交互。柔性触觉传感器又称为“电子皮肤”，能够实现与 环境接触力、温度、湿度、震动、材质、软硬等特性的检测，是机器人直接感知环境作用的重要 传感器。柔性触觉传感器的特点有：像人皮肤一样具有柔韧性；在保证测量准确度和灵敏度的同 时，能够实现任意弯曲变形、有弹性；能够覆盖在非规则、非平面的机器人本体表面，可扩展， 分辨率高。

机器人触觉传感器从敏感元件的感应原理上主要分为 :压阻式、压电式电容式、光电式、磁敏式、 光纤式和超声式等，各种原理各有其优点和缺点。其中电容、压阻、压电是常用的原理方法。电 阻式触觉传感器是利用传感单元电阻值的变化情况来检测施加力的位置和大小的，由于原理简单 成本一般较低，但是响应有所滞后；电容式触觉传感器通过电容值的变化来检测外部作用力的大 小，问题在于制造体积过小，电容值非常小，对检测不敏感，结果容易受噪声影响；压电式触觉 传感器是利用压电材料在受力变形时产生电压的特性来进行测力的，用于制备的材料主要是 PVDF，其特点在于仅适用于动态测量、且拉伸性较为有限。

柔性触觉传感器的关键技术包括：材料技术、加工技术、结构设计及扩展、高柔性和多功能。1. 材料技术：柔性触觉传感器材料选择包含两部分:敏感材料(包括有机聚合物、碳纳米管、石 墨烯、纳米线等)和基底材料(PDMS、PET 等)。近年来科研人员不断研究各种新的材料，在 保证测量敏感度的同时，提高柔软性和弹性。2. 加工技术：基于 MEMS 的硅压阻式触觉传感器具有高精度和微小体积的优点。但是，传统 的硅基底材料有易碎等特性，不能承受较大的形变和瞬时的冲击。柔性衬底材料具有很好的 挠曲性、耐冲击性及机械性能。近些年聚合物微机械加工工艺、电子印刷工艺、3D 打印技 术迅速发展，在部分领域颠覆了传统的设计和制造方式。3. 结构设计及扩展：人们设计了触觉传感器的不同结构以实现柔弹性，提高灵敏度，如金字塔 结构、多孔结构、两层框架式节点结构。其次，柔性触觉传感器需要能够任意剪裁和拼接， 必须具备良好的可扩展性。目前，单个传感单元的灵敏度、线性度、柔弹性等性能已经得到 很大提升，但扩展为大面积柔性触觉传感器不仅要考虑电极层、触点位置的布置，还要求后 续的处理电路相对简单、易于阵列化。4. 高柔性和多功能：柔性触觉传感器覆盖于机器人等载体复杂的三维表面活动关节，必须具有 很高的柔弹性。能够弯曲、延展、挤压、扭转或变形成复杂的曲面形状。要想实现人类手腕 部位的拉伸，柔性触觉传感器的弹性范围应该在30%左右。其次。传统的触觉传感器均为单 一功能，这与皮肤的多功能相比差距甚远。除了压力觉之外，研究能够感知物体形状、材质、 表面纹理、温度、湿度等多功能柔性触觉传感器是未来的发展方向之一。

电子皮肤在智能系统应用中具有重要意义，由于触觉传感器的高性能，电子皮肤在智能系统中的 应用越来越广泛，研究电子皮肤不仅可以实现更智能的机器人，而且在可穿戴设备和医疗领域具 有重要意义。

电子皮肤在实际应用中仍存在着挑战，高灵敏度、高柔性的电子皮肤制造工艺复杂成本高和难以 批量生产；目前，柔性电子皮肤的发展仍然受材料与结构的限制，在测量精度上无法与传统成熟 的金属及半导体传感器相比；在未来的研究中，探索新的材料和结构设计仍是制备高性能电子皮 肤的关键，尤其是高灵敏度和高柔性电子皮肤。

3.5 MEMS 压力传感器

MEMS 是微电子和微机械的巧妙结合，全称是微型电子机械系统，利用半导体制造工艺和材料， 将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS 压力传感器的核心结构为一层薄膜元件，受到压力时变形， 形变会导致材料的电性能（电阻、电容）改变，之后输出响应的电信号进行压力数据计算。

MEMS 压力传感器具有易于批量生产、小型化、成本效益以及易于制造复杂结构的能力等优势。近年来，MEMS 传感器技术在原理、理论、设计和制造技术（例如体硅蚀刻、薄膜制造和低温键 合）等方面的进步，促进了压力传感器的快速发展和多样化。采用创新技术和封装方法的新型压 力传感元件，提供了更高的测量精度、微型化的尺寸以及更宽泛的温度适应性。此外，第三代半 导体材料、石墨烯和纳米线等新兴材料在压力传感器中的应用进一步提高了其性能。按照工作原理，MEMS 压力传感器主要细分为电容式和电阻式。电容式：当受到压力时，上下两 个横隔（传感器横隔上部、传感器下部）之间的间距变化，导致隔板之间的电容变化，据此可以 测算出压力大小；电阻式：由一个带有硅薄膜的底座和安装在其上的电阻结构组成，当外力施加 时，电压与压力大小成比例变化产生测量值。

目前，汽车、消费电子、医疗是 MEMS 压力传感器较大的应用领域。汽车产业占 MEMS 压力传 感器市场销售额超 40%，其次是消费电子，销售额占比约 23%，医疗领域占 17%，工业领域占 约 15%，其余市场如军用、航空航天等领域。

MEMS 传感器被广泛应用于机器人智能感知领域，逐渐成为时代新的风口。随着机器人产业智能 化的发展，MEMS 传感器适应更加多元的应用场景，具备更复杂的动作信号采集与控制，极致状 况下甚至可以使机器手臂配上有触觉感知的夹爪达到媲美人手的灵活程度。随着机器人的智能化 程度不断提高，其中加载的 MEMS 传感器将变得越来越多，据中国电子报数据，由于机器人的智 能化程度不同，传感器等感知部分约占机器人总成本的 10%到 20%，机器人领域有望继消费电子、 汽车之后，成为 MEMS 传感器的新兴的主要应用市场。据 Mordor intelligence 数据，MEMS 压力 传感器市场规模估计在 2023 年为 23.6 亿美元，预计到 2028 年将达到 31.9 亿美元，在预测期间 （2023-2028 年）以 6.20%的复合年增长率增长。

一些先进的系统将超小型的微机电系统（MEMS）压力传感器直接应用于机器人关节，以提供高 分辨率的本体感觉反馈。这种 MEMS 压力传感器技术堪比生物本体感觉，使机器人能够意识到自 己的运动和负载情况。同样，将 MEMS 压力传感器集成到机器人外部的外表皮可提供关于接触力 的触觉反馈。带有多个单独压力传感器的大型传感器阵列有助于绘制机器人身体上力的分布及其 大小。MEMS 制造允许使用高分辨率和极其紧凑的压差传感器，该传感器可以将本体感觉集成到 机器人关节和执行器中。例如，Superior Sensor Technology 的 MEMS 压力传感器集成了包括先 进的数字滤波、闭环控制和基于软件的压力开关等先进的功能。这些传感器的完全集成形式，提 供了精确的运动控制和灵活的物体操纵能力所需的基本内部扭矩和力的反馈。关于数据处理，可 以使用深度神经网络等先进的机器学习（ML）方法，利用来自传感器阵列的实时压力数据来优化 控制和响应。计算模型使用本体感觉和触觉传感器的压力模式来传递反射反应、指挥机械臂运动。

4.1 鸣志电器：世界级运动控制制造商，空心杯电机领跑同行

公司是运动控制领域综合制造商。公司成立于 1994 年，目前已发展为运动控制领域的龙头综合 制造商，是全球控制电机系统的综合提供商和主要生产商。经过二十余年发展，公司始终秉持对 专业应用技术和国际化科学管理手段的追求，从工厂自动化专业部件到智能 LED 照明驱动器，从 大型工厂设备的智能管理系统到汽车通信设备的控制执行机构，通过内生+外延方式，形成步进 电机、无刷电机、伺服电机、空心杯电机、驱动器、控制器等多产品矩阵的发展模式，目前已成 为全球步进电机排名前五企业。

公司较早布局空心杯电机，专利矩阵领先同行。2018 年公司开始布局空心杯电机，具有十余项 专利，利用在直流无刷系统中拥有的技术储备和产品开发优势，研发出无刷空心杯电机，转速到 达 8 万转，控制模型线性，无齿槽转矩，低振动噪音，运转平顺；2019 年公司进一步研发能量转换效率更高、响应速度更快的高速空心杯电机，并开发搭配使用的高性能行星齿轮箱。截至 2019 年，公司空心杯电机已取得十余项国际、国内发明专利和实用新型专利，技术处于全球领先水 平；空心杯电机产品线已形成战斗力，在全球各主流应用市场与其他世界一流同行同场竞技。而 国内主要竞争对手布局较晚；同时，公司收购瑞士 Technosoft Motion AG，该公司在空心杯电机和无齿槽电机的驱动控制领域保持全球领先优势，专注于高端医疗/生命科学及实验室仪器、超细 微加工、半导体设备、AGV 和机器人等应用领域；鼎智科技 2023 年 6 月接受投资者调研时称已 实现空心杯电机全自动量产，并能针对客户的不同需求提供定制化产品和组件，当前多款样品处 在测试阶段。

4.2 鼎智科技：微特电机“小巨人”，积极布局空心杯电机和行星滚柱丝杠

公司是微特电机“小巨人”，受益于医疗器械和工业自动化领域的国产替代。公司专注于医疗及 工业自动化用线性执行器、编码器、驱控器及其组件为基础的精密运动控制系列产品，为客户提 供精密运动控制系列产品一揽子解决方案。主要产品包括线性执行器、混合式步进电机、音圈电 机以及智能驱控器等，广泛使用于医疗诊断设备、生命科学仪器、实验室自动化、机器人、流体 控制、半导体及精密电子生产设备，各类工业自动化设备。凭借多年的生产制造与服务经验积累， 公司现已拥有综合性的能力，包括产品研发设计、样品打样制造、核心部件自制、柔性精密生产 以及产品检验测试等服务。

公司关注人形机器人机遇，布局空心杯电机、行星滚柱丝杠等高端产品。空心杯电机是公司重点 发展的核心产品，最小直径 8mm，最大转速 8 万转/分钟。目前，公司空心杯电机已基本成熟， 处于中小批量供货阶段。公司自研空心杯电机绕线设备，可实现空心杯电机全自动批量生产。由 于核心工艺及设备自研，公司的空心杯电机产能建设周期较短，可以快速满足批量订单。空心杯 电机技术壁垒核心在于高转速下的平稳性、寿命、噪音以及配套的行星减速箱。公司掌握减速箱 核心技术，自研产品处于样机和测试阶段，公司空心杯电机+减速箱配套产品国内领先。

4.3 伟创电气：工控出海先行者，积极布局机器人领域

公司专注电气传动和工控领域，主营变频器与伺服及控制系统。公司的主要产品为 0.4kW 至 5600kW 的变频器，50W 至 200kW 的伺服系统，控制系统包含运动控制器及 PLC 等。产品广泛 应用于数控机床、纺织机械、矿用设备、起重、高效能源、轨道交通、智能装备、电液伺服、印 刷包装、石油化工等行业。公司产品的终端用户数量众多，行业分布广泛，包含国内外知名企业。公司系高新技术企业，并在 2021 年获得由国家工信部颁发的专精特新“小巨人”企业称号。公司积极布局机器人行业。公司在 2022 年成立机器人事业部，切入机器人产业链，目前主要是 以机器人大配套为主，主要面向移动类、协作类、服务类的机器人领域，提供低压伺服、空心杯 电机、特种无框力矩电机等核心部件。公司自主研发设计空心杯电动机，具有高转速、高扭矩、 低噪音振动的优势，电机运行平稳、更精确的控，电机结构紧凑让电机提供了更高的效率和功率 密度。产品目前在开发验证阶段，主要面向机器人、医疗等行业。

4.4 田中精机：国内精密绕线设备领导者，空心杯电机绕组设备供应商

公司是国内精密绕线设备领域的领导者。公司前身为日本田中精机株式会社，始创于 1933 年日 本福岛县，经过将近一个世纪的技术积累，公司从单一绕线机领域逐步的拓展到消费电子产业、汽车产业、家电产业、医疗行业等相关领域。公司产品主要包括数控自动化标准机、非标准机以 及数控自动化特殊设备，其中数控自动化标准机产品的设计、生产工艺和流程较为固定，主要实 现基本的绕线功能，用于生产标准化的电子线圈。公司是国内精密绕线设备领域的领导者，在无 线充电、快充、配套车规级变压器、音圈、震动马达、伺服电机、电梯曳引机、汽车转向助力 EPS 电机为代表的汽车相关配套产品、柔性装配和以激光雷达自动化装配为代表的精密装配等多 个相关领域的设备研发上积累了丰富的经验，实现了精密绕线技术在新兴产业内的横向拓展。凭 借多年积累的行业经验和系统设计优势，公司积极拓展产品线，根据客户特定需求，为其提供了 一体化的产品和服务解决方案。在原有数控标准机的基础上，公司已完成向绕线前后工序设备、 非标准机和特殊机设备的延伸，实现包括自动上料、绕线、移载、焊锡、插端子、包胶、检测以 及数据上传等主要功能在内的全流程工序的自动化和一体化，很好地满足了客户差异化、精细化 及全产业链自动化的需求。

4.5 汉威科技：国内气体传感器龙头，子公司积极拓展柔性微 纳传感器应用场景

公司是国内气体传感器龙头。公司以传感器为核心，将传感技术、智能仪表技术、数据采集技术、 地理信息和云计算等物联网技术紧密结合，形成了“传感器+监测终端+数据采集+空间信息技术+ 云应用+AI”的系统解决方案，业务应用覆盖传感器、物联网综合解决方案、公用事业及居家智 能与健康等行业领域，在所涉及的产业领域中形成了相对领先的优势。公司产品包括传感器、智 能仪表、智慧安全系统解决方案、智慧环保系统解决方案、智慧城市系统解决方案、公用事业。子公司苏州能斯达积极拓展柔性微纳传感器的应用场景。目前已建立了稳定的纳米敏感材料体系， 掌握了柔性压阻、柔性压电、柔性温湿度、柔性电容四大核心技术。根据2023年中报，苏州能斯 达订单金额不断增加，应用领域不断拓展，柔性微纳传感器目前已在智能机器人领域有明确的应 用，并与小米科技、九号科技、深圳科易机器人等积极开展业务合作，后续发展空间广阔。2022 年 3 月，小米长江产业基金以 1000 万元对公司控股子公司苏州能斯达进行增资，增资后将持有 苏州能斯达 5.21% 的股权。

4.6 柯力传感：国内应变式传感器龙头，多维力传感器处于开发试制阶段

公司是国内应变式传感器龙头，朝多传感器融合平台发展。公司主营业务为研制、生产和销售应 变式传感器（其中主要为应变式称重传感器）、仪表等元器件，提供系统集成及干粉砂浆第三方 系统服务、不停车检测系统、无人值守一卡通等智能称重系统、制造业人工智能系统等。公司主 要产品有应变式传感器、仪表、称重系统集成、软件产品、干粉砂浆第三方系统服务。目前已是 全球大型钢制传感器制造企业和工业物联网应用拓展引领者之一。通过“内生+外延”的方式， 公司横纵向拓宽传感器产品矩阵，横向参股意普兴、驰诚电气，推进气体传感器、光栅传感器等 产品布局。多维力传感器处于开发试制阶段。公司开发了三维力、六维力等多维力传感器可用于机器手臂运 动与工作载荷监测、曲面研磨抛光、加工中心精雕加工、医疗设备精密测控等，具有高精度、高 灵敏度、抗偏载能力强、维间耦合小等特点，目前多维力系列产品处于小批量试制阶段。公司市 占率多年高踞国内力学传感器行业榜首，随着人形机器人产业逐渐成熟，六维传感器在机器人场 景的应用有望成为公司新的增长点。

4.7 康斯特：高端校准检测设备龙头，引领高精度传感器国产替代

康斯特是我国压力温湿度检测领域的龙头企业。公司的主营业务是数字校准测试仪器仪表产品的 研发、生产与销售。公司打破了国外技术在相关应用领域高精度测量的垄断格局，通过多年自主 研发掌握了高精度压力、温湿度传感器的核心生产技术，并逐步实现由小批量、多品种离散式生 产向批量化、规模化制造模式转变。目前公司的压力、温湿度检测产品已广泛的应用于石油、化 工、计量、电力、冶金、机械、民航、气象、交通及医疗等领域，并积极的拓展海外市场。公司引领高精度传感器国产替代。公司专注研发，弥补了国内高端国产压力、温湿度传感器空白 的现状，并在多项核心技术达到国际先进水平，对推动我国关键测试设备国产化有重要贡献。高 精度仪器仪表是国家实现高质量发展的基础保障，长期以来被外国厂商垄断，面对下游行业不断 增长和国产替代的趋势，康斯特通过差异化竞争优势积极拓宽市场，并加速 MEMS 压力传感器等 高精度产品的垂直制造落地。

4.8 敏芯股份：MEMS 传感器全产业链发展，积极布局六维力矩传感器

敏芯股份是我国 MEMS 传感器全产业链发展的领军企业。公司以芯片设计起家，目前主要产品线 包括 MEMS 声学传感器、MEMS 压力传感器和 MEMS 惯性传感器，是中国少有的拥有全产业链 研发与全供应链体系国产化的 MEMS 企业，并掌握各环节的核心技术工艺，其中以 MEMS 声学 传感器为主营产品。公司下游主要应用领域包括消费电子、汽车、工业控制、医疗、通信等，客 户包括华为、传音、小米、三星、OPPO、联想、索尼、九安医疗、乐心医疗等。公司以产业链 完整、产品线众多、高出货量、综合竞争优势显著等竞争优势跻身全球知名 MEMS 企业集团行列。

公司是国内唯一掌握多品类设计和制造工艺的 MEMS 芯片制造商。目前公司除了声学传感器，消 费类压力传感器、汽车压力模组、微差压产品、加速度计等主营产品外，也在六维传感器、force touch 等领域积极研发布局，并逐步形成技术积累，致力于成为一家技术平台型公司。随着人工 智能、人形机器人、物联网技术的发展，MEMS传感器的应用场景将更加多元，利用 MEMS多品 类布局和 MEMS 传感器全生产环节国产化的优势，公司未来有望抓住下游市场需求结构性变化的 趋势，迎来新的增长点。

4.9 万讯自控：自动化仪表引领者，积极布局高端传感器与机器人

万讯自控是国内自动化仪表领域的头部企业。公司专注智能自动化仪表及中高端数控系统等工业 自动化领域产品的研发、生产与销售。公司坚持自主研发并掌握部分核心技术，一些产品的技术 和性能指标已接近或达到国际先进水平，打破了工业自动化仪器仪表中高端市场被国外品牌垄断 的旧有壁垒。目前，公司产品已广泛应用于化工、冶金、电力等传统工业领域及医药、军工、航 空航天、新能源等新兴行业，以国内市场为主。公司致力于将 MEMS 技术应用于传感器的研发以 实现传感器系统及产品的微型化、多功能化、智能化和集成化，顺应行业技术发展趋势。积极布局高端传感器与工业机器人领域。近年来，公司顺应行业和产业发展趋势，积极布局工业 机器人 3D 视觉系统和中高端数控系统等相关新兴领域。2015 年，公司与丹麦 Scape 达成了战略 合作，并于 2017 年共同投资成立了深圳视科普，为万讯自控在工业机器人 3D 视觉业务的发展打 开了新的篇章，目前已成功应用于宝马、奥迪、大众、沃尔沃等汽车厂商，包括国内某新能源车企。

4.10 东华测试：结构力学测试仪器龙头，力传感器技术领先

公司是国内结构力学测试仪器龙头企业。公司的主营业务是结构力学性能测试仪器及配套软件的 研发、生产和销售，产品主要有传感器、测试仪器、控制分析软件等，在国防工业、航空航天、 车辆船舶、土木建筑、工程机械、能源电力等领域广泛应用，公司目前客户结构中，军工市场占 比过半，高校及科研院所也是重要客户，公司产品在华为 PCB 板的可靠性测试中得到了应用。公 司的核心技术优势为从传感器、模拟电路、数字电路到分析算法、软件全技术链的自主可控，公 司在结构力学性能测试仪器产业具有独立自主核心技术，致力于帮助客户解决结构的安全性、可 靠性问题，为国家顺利推进装备现代化，科学技术自主创新和国家产业升级提供着必要条件，在 测控分析技术与电化学高效检测等领域也同样在实现国产替代。公司力传感器技术领先。公司持续推进传感器的研发，产品布局包括加速度传感器、速度传感器、 位移传感器、应变传感器、转速传感器、压力传感器、各类缓变量传感器等，公司全资子公司江 苏东华校准覆盖了东华测试全部仪器及传感器产品，并为客户提供第三方计量校准及检测服务。与此同时，公司 PHM 检测系统与基于 PHM 的设备维保平台业务也在持续拓展。

4.11 凌云股份：汽车管路行业龙头，揭榜人形机器人研发项目

公司是兵工集团旗下军转民的标杆企业，是汽车管路行业龙头。公司前身是生产高榴弹的国营 333 厂，1986 年开始军用转民用，主要从事汽车零部件及市政工程塑料管道系统的生产及销售业 务，目前已成长为具有国际影响力的汽车零部件制造商。随着国产新能源汽车的崛起，公司也乘势进行了向新能源方向的转型，加大了高强度、轻量化产品在新能源车市场的推广和应用，并在 新能源车电池壳、水冷板、储能等方面取得了较大的市场成效。与此同时，公司设立子公司上海 亚大汽车，专门开展高性能车用 MEMS 系列压力传感器关键技术攻关项目。公司揭榜人形机器人研发项目。公司积极布局战略性新兴产业和未来产业，加强前瞻性研发， 2023 年，公司联合中国科学院合肥物质科学研究院和中兵智能创新研究院，牵头“低成本高精度 智能化人形机器人力感知关键技术及制造方法研究”项目，联合揭榜了工信部 2023 年未来产业人 形机器人方向力传感器创新任务。助力我国在六维力矩传感器领域打破国际垄断，实现人形机器 人产业链自主发展。

4.12 福莱新材：国内功能性涂布复合材料领军者，子公司积极布局电子皮肤

公司是国内功能性涂布复合材料行业领军者。公司主营业务为功能性涂布复合材料的研发、生产 和销售，是国内喷墨打印复合材料行业首家实现基膜、胶水、涂布一体化的企业。公司产品主要 分为广告喷墨打印材料、标签标识印刷材料、电子级功能材料、新型功能型薄膜材料、胶粘材料 等工业消费品及高端智能装备。在 2023 年 7 月，公司入选国家级专精特新“小巨人”企业。全资子公司欧仁新材料积极布局电子皮肤领域。浙江欧仁新材料有限公司成立于 2015 年，建立 了实力雄厚的研发团队并长期投入研发力量，公司的技术总监杨晓明此前在电子皮肤（柔性传感 器）有众多专利布局，如基于柔性压敏元件的拉伸传感器、一种柔性温度传感器及其制备方法、 一种基于改性纸基的高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法。不仅目前公司电子皮肤有技术积累 和专人团队，后续重心也在针对应用端进行开发定制化产品。

4.13 华依科技：汽车动力总成测试龙头，惯导开启增长新引擎

华依科技是我国汽车动力总成测试领域的龙头企业。公司的主要产品及服务为高精度惯导、动力 总成智能测试设备、动力总成测试服务等，业务同时覆盖传统燃油车和新能源汽车。长期以来我 国汽车动力总成的关键部件的研制主要依赖国外，但以华依科技为代表的国内企业打破了国外技 术在国内动力总成测试的垄断格局，逐步向国际先进技术水平靠近，通过多年自主研发实现了在 发动机冷试设备等关键领域的进口替代。目前公司的主要客户包括比亚迪、吉利、长安、蔚来、 上汽、理想、大陆、西门子、宁德时代、雷诺等国内外知名品牌车企及汽车零部件供应商。公司先发布局 IMU 惯性测量单元。智能汽车与自动驾驶的发展带动了高精度惯导市场规模的快速 增长，惯性测量单元（IMU）则是惯性导航系统（INS）中的核心部件。公司早在 2018 年即成立 智能驾驶事业部，开展智能驾驶核心零部件的前期研发布局，在多年的潜心布局与专注研发后， 核心产品 IMU 已实现落地并达到量产条件，并获得了奇瑞汽车、智己汽车等 OEM 厂商的订单。随着公司车用 IMU 产品的商业化规模化落地，从 IMU 产品的技术可延伸性角度，未来也有望在机 器人领域获得新的突破。

4.14 华培动力：汽车总成业务先进企业，拓宽汽车传感器业务版图

华培动力是我国汽车总成业务的先进企业。公司的主营业务是汽车动力总成业务及传感器业务。动力总成业务的主要产品为发动机进气系统中涡轮增压器放气阀组件、涡轮壳及中间壳等零部件， 排气系统中的端锥、弯管、法兰等零部件，商用车后处理系统中的排气节流阀阀体等产品，客户 包括宝马、长城等 OEM 整车厂及博格华纳、盖瑞特、三菱重工、德国大陆等涡轮增压器厂商。公司精简产线，将低效率的南通工厂相关业务整合至武汉工厂，更加充分高效地利用武汉工厂的 产能与高自动化率，精细化管理，帮助动力总成事业部提升了总利润率。公司积极拓宽汽车传感器业务版图。通过收购无锡盛迈克传感技术有限公司，公司布局汽车压力 传感器、温度传感器等产品线。公司传感器业务由盛迈克、盛邦、盛美芯、中科阿尔法四家子公 司负责，目前主要面向国内商用车前装市场，主要产品包括全压力量程范围的压力传感器、速度 位置传感器、温度传感器、尿素品质传感器等多品类传感器及部分核心芯片，商用车及工程机械 整机厂客户包括一汽解放、中国重汽、陕汽、三一重工等，发动机厂商客户包括潍柴动力、康明 斯、博世、玉柴、锡柴、云内、常柴等。

4.15 瀚川智能：国内智能制造装备领军企业，子公司积极布局六维传感器

瀚川智能是国内智能制造装备的领军企业。公司聚焦汽车电动化和智能化，主要业务为汽车智能 制造装备、电池智能制造装备以及新兴业务产品等智能制造装备及系统，是国内企业中为数不多 能够参与到国际智能制造装备项目的供应商，在汽车零部件、新能源锂电池、充换电等细分赛道 业务有大量全球知名客户积累。作为汽车制造解决方案的龙头企业，公司与大陆集团、博世、采 埃孚、比亚迪、马勒、日本电装等客户都建立了长期稳定的合作关系。在电池设备业务板块与充 换电设备业务板块，公司也覆盖消费锂电、动力锂电及储能电池领域，获得了亿纬锂能、比亚迪、 国家电网、吉利集团、东风等下游客户的认可。子公司坤维科技积极布局六维传感器。公司全资子公司苏州瀚海皓星于 2020 年 12 月投资了坤维 科技，目前持股比例为 4.56%。坤维科技主要业务为高精度力觉传感器（六轴力传感器），其自 主研发的产品打破了国外企业在六维力传感器领域的长期垄断并处于领先地位，加快推进了产业 链的上下游合作。

4.16 芯动联科：MEMS 惯性传感器龙头，国产替代领军者

公司是国内高端 MEMS 惯性传感器龙头企业。公司采用 fabless 模式，主要产品为高性能 MEMS 惯性传感器，包括 MEMS 陀螺仪和 MEMS 加速度计，均包含一颗微机械 MEMS 芯片和一颗专用 控制电路 ASIC 芯片，主要应用于高端工业、高可靠领域和无人系统等领域，包括无人驾驶与无 人机，涵盖 5G 通信、工业 4.0、商业航天、自动驾驶、石油勘探、船舶等，具有广阔的市场空间。公司引导高性能 MEMS 惯性传感器的国产替代。公司是我国较早涉足高性能 MEMS 惯性传感器 研发的半导体公司，拥有多年在 MEMS领域的设计与工艺开发经验，目前已经掌握高性能 MEMS 惯性传感器的核心技术，高性能 MEMS 陀螺仪的核心性能指标已达到国际先进水平，是目前我国 为数不多可稳定量产高性能 MEMS 惯性传感器的企业。得益于起步较早，长期以来 MEMS 产品 的市场份额基本被国际知名企业瓜分，但随着自动驾驶和机器人市场的快速发展，在国产替代的 浪潮下，公司有望迎来快速发展。

4.17 安培龙：国内陶瓷传感器龙头，积极拓展 MEMS 传感器

安培龙是国内陶瓷传感器的龙头。公司长期以来专注于陶瓷材料产业及陶瓷工艺技术的研发，主 要从事热敏电阻及温度传感器、氧传感器、压力传感器的生产及销售业务，拥有完整的产业链，是相关领域的隐形冠军。公司三大类产品线广泛应用于家电、汽车、工业控制、通讯、光伏、储 能、医疗等下游市场，主要客户包括美的、TCL、比亚迪、伟嘉集团、万里扬、华为等国内公司， 并伴有少量的家电制造与汽车零部件国际业务。公司温度传感器关键性能指标已接近国际先进水 平，在家电产品及消费电子领域逐步完成国产替代。公司积极拓展 MEMS 传感器智能制造业务。公司目前基于 MEMS 技术平台生产的主要是 MEMS 压力传感器，主要应用于汽车及消费电子等领域，客户包括东风、全柴等 OEM 主机厂。随着公 司 MEMS 压力传感器芯片业务的发展，公司将逐步形成 MEMS 低压压力传感器、玻璃微熔高压 压力传感器、陶瓷电容式中压压力传感器共同覆盖低、中、高压全量程的产业化生产，覆盖家电、 汽车、储能等行业绝大部分的需求。

4.18 高华科技：高可靠传感器标杆龙头，军民双轮共驱成长

公司是国内高可靠传感器的标杆龙头。公司主要从事主营业务为高可靠性传感器及传感器网络系 统的生产及销售业务，主要产品为各类压力、加速度、温湿度、位移等传感器。公司长期以来布 局高可靠性传感器的研发与设计，在相关工艺上拥有了自主研发能力和核心技术，在行业内处于 技术领先地位。公司 MEMS 技术逐步渗透压力传感器产业链全流程，并已经具备芯片自主设计能 力。公司军民双轮共驱成长。公司以“行业覆盖（军用）+地域覆盖（工业）”为主，承担了国家科技部、 工信部、江苏省科技厅、江苏省工信厅、南京市科技局、南京市工信局等各部委和各级政府部门 的多项传感器研制项目，并参与了包括载人航天工程、北斗工程、空间站建设工程、探月工程等 国家级工程的配套工作，全力协助我国军用装备信息化智能化建设。在轨道交通、工程机械、工 业自动化等民用领域，公司也在努力进行国产替代。