极紫外光学特点

1、波长优势：极紫外波长较之可见光波长小一个量级以上，这使得它非常适合构建高分辨率光学系统。

2、丰富的原子内壳层共振线：为国家大科学装置同步辐射提供了重要的理论基础。

3、折射率的特殊性：通常情况下，极紫外的折射率小于1，且接近于1，消光系数不等于零。这意味着传统的可见光光学系统和透镜已不适用。同时，单层膜正入射的反射率也较小，因此单层膜的应用受到限制。

4、掠入射光学系统的局限：基于折射率小于1，当极紫外光以接近反射镜表面入射到镜面上时会发生全反射，由此可以通过掠入射光学系统进行成像。但由于掠入射光学系统数值孔径小，易产生像差，因此，掠入射光学系统应用受限。

5、正入射系统拓展到极紫外波段：纳米多层膜光学技术的发展将正入射系统拓展至极紫外波段，产生二次反射的望远镜系统与六次反射的投影光刻系统。

6、真空系统的必要性：极紫外光会被空气中的氧、氮等气体强烈吸收，极大地降低了极紫外光的传输距离，因此极紫外光只能在真空中传输。

7、薄膜的极限状态：极紫外薄膜的制作接近极限状态，一般膜层厚度约为1/4波长，膜层厚度受到物理限制最薄只能做到约1nm，为了实现高反射，多层膜需要上百层，膜厚自身的控制精度一般需达到膜厚的1/10，以确保薄膜性能。

极紫外多层膜技术

应用前景与展望