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2021展品详情

磁控溅射镀膜机

行业类别:精密光学展 & 镜头及摄像模组展

产品范围: 光学镀膜技术及设备/

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产品介绍

此磁控镀膜系统为单室双靶磁控溅射镀膜设备,主要用磁控溅射的方法制备金属膜,半导体 膜,陶瓷膜,介质复合膜及多层膜和其它化学反应膜及掺杂膜,铁磁性薄膜等。每个靶位可根据需 要选用直流溅射、射频溅射,能够实现不停机的情况下,在样品上连续独立溅射,轮流溅射。主要 由溅射室、磁控溅射靶、直流电源、射频电源、样品加热转台、泵抽系统、真空测量系统、电控系 统、气路系统等组成。主要部件采用国外一级品牌,次要部件采用国内一级品牌,确保整体性能稳 定.

成都四盛科技有限公司

展馆:3号馆

展展位号:3A54