2021展品详情
产品介绍
可根据您的工艺要求配置: 1.低温冷凝泵、分子泵或油扩散泵及全自动排气系统,实现排气高效化; 2.霍尔离子源、射频离子源或PDS离子源进行离子辅助镀膜,极大改善薄膜的特性和质量; 3.高稳定、高可靠性的进口电子枪用于蒸镀工艺; 4.阻蒸(多点可选); 5.全自动光学监控系统,自动判极值。大大提高监控精度和可靠性,减少误判; 6.薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。
可根据您的工艺要求配置: 1.低温冷凝泵、分子泵或油扩散泵及全自动排气系统,实现排气高效化; 2.霍尔离子源、射频离子源或PDS离子源进行离子辅助镀膜,极大改善薄膜的特性和质量; 3.高稳定、高可靠性的进口电子枪用于蒸镀工艺; 4.阻蒸(多点可选); 5.全自动光学监控系统,自动判极值。大大提高监控精度和可靠性,减少误判; 6.薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。