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产品介绍

可根据您的工艺要求配置： 1.低温冷凝泵、分子泵或油扩散泵及全自动排气系统，实现排气高效化；  2.霍尔离子源、射频离子源或PDS离子源进行离子辅助镀膜，极大改善薄膜的特性和质量；  3.高稳定、高可靠性的进口电子枪用于蒸镀工艺；  4.阻蒸（多点可选）；  5.全自动光学监控系统，自动判极值。大大提高监控精度和可靠性，减少误判；  6.薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。