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2021展品详情

FCVA真空镀膜锁系统

行业类别:精密光学展 & 镜头及摄像模组展

产品范围: 光学镀膜技术及设备/

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产品介绍

系统采用单个或一对FCVA镀膜源配置,包括一个工艺真空室、一个装卸载真空室、一架FCVA碳源、一架FCVA金属源 (可选)或一个磁控溅射源(可选)、一个离子束清洗源,可长时间保证工艺真空室高真空要求,从而提高生产效率及保证膜层质量。样品支架采用特殊设计,立式结构,可倾斜、公转、自旋转、加偏压。该系统还可设计为具有多源同时沉积等特殊工艺要求的机台,可在高真空环境下连续镀膜,从而提供品质优异、均匀性好、重复性高的镀膜产品,是精密模具、精密部件表面镀膜、生产超薄高性能膜层的最佳选择。

纳峰真空镀膜(上海)有限公司

展馆:3号馆

展展位号:3A72