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产品介绍

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
■真空室尺寸：Φ600-1800mm
■60点/80点式光学膜厚监控
■使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
■搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
■利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
■工件架可选择钟罩式或行星式
■排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵