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2021展品详情

电子枪蒸发光学镀膜机

行业类别:精密光学展 & 镜头及摄像模组展

产品范围: 光学镀膜技术及设备/

产品图片

产品介绍

应用范围:
精密光学薄膜、电学薄膜。如滤光片、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜等各种膜系,能够实现0-200层膜的膜系镀膜。
产品特点:
配置高精密的电子枪和离子源。集成电阻蒸发,镀膜工艺和膜厚自动控制,薄膜质量稳定。
成膜室抽速:3.0×10-3Pa≤30min 
极限真空度:8.0×10-5Pa
镀膜系统:电子枪蒸发 、电阻蒸发
溅射靶材:C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各种化合物等 
膜厚控制:晶控或光控
控制系统:工控电脑+触摸屏

中山凯旋真空科技股份有限公司

展馆:3号馆

展展位号:3B71