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产品介绍

应用范围：LOW-E、电致变色等建筑玻璃行业。CIGS、碲化镉、晶体硅等新能源行业。平板显示、触控面板、手机前后盖等消费电子行业。
产品特点：
•大面积镀膜，多室多靶位，灵活性大; 
•磁导向传输系统，平稳可靠; 
•镀膜前有离子源对基片进行表面清洗和活化，提高附着力，改善膜层质量; 
•真空室加Polycold捕集水蒸汽，提高抽气能力; 
•便于维修的侧装分子泵和全开式真空室门; 
•自行开发的方便的用户易操作控制软件; 
•工件架识别系统运用，工艺质量有可追溯性; 
•真空室的模块式设计。