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介绍
高真空全自动蒸镀机，包含自动UV封装系统。可应用于RGB全彩AMOLED屏幕的研发及小批量生产，也可用于8inch Micro-OLED 微显屏幕的生产、OLED材料验证以及WOLED（白光照明）、QLED（量子点）、薄膜太阳能器件等方面的薄膜沉积。
特点：高真空、全自动、高对位精度、高膜厚均匀性、高膜厚重复性、超洁净工艺环境、低制程温升